一、零部件国产化率整体偏低，射频电源、静电卡盘等制约设备量产

🔹 半导体零部件整体国产化率：约十几个百分点，射频电源不足20%

总体水平：半导体领域零部件国产化率约10%几，射频电源国产化率接近但不到20%。

🔹 光刻短板：光刻机相关光镜、光学镜头、工作台、光刻材料国产化率很低，ASML使用蔡司镜头，国内上海微下属研发中心仍处测试或内测阶段；国内光刻仍停留在28纳米DUV。

🔹 DUV进展：上海微在2022年已自主研发并搭建DUV框架；受新凯来成立后抽走部分上海微研发团队等影响，去年年底上海微与宇量昇合并。

二、射频电源价值量最高，国内已形成多家核心供应商

🔹 价值占比：射频电源、Match等是设备中占比最高的零部件，约占设备金额15%—20%；一个腔体需要上下电极、两个射频电源和两个匹配器。

🔹 主要厂商：国内做得较好的包括恒运昌、英杰电气；英杰电气最早与中微捆绑较深，恒运昌主要依托拓荆份额并以AE电源维修起家。

🔹 新兴厂商：

华晟电子于2025年成立，从北方微电子/北方华创体系脱离，主营射频电源、MFC、Gauge，在华创体系内匹配器和射频电源份额约八成，预计2028年底、最晚2029年上市；

神州半导体将于11月上市，原为应用材料RPS等离子电源维修服务商，现已自主研发射频电源。

三、Gas Box、泵阀、金属件、陶瓷件和MFC国产化进展分化

🔹 Gas Box（模组化气体系统）：

内部集成阀门、MFC、压力控制器等，要求精确控制多路气体的压力、流速、流量，同时防止有毒、可燃、腐蚀性气体泄漏，是偏系统性交付的产品，当前供应链已可实现全国产化，国产化率提升确定性高。

海外供应商超科林、艾克尔、富士金受制裁影响且优先满足海外龙头需求，2022年左右正帆科技、富创精密开始进入该领域，2025年国产化率仍低于20%，未来有望提升至80%甚至更高；

2025年行业压价情况在2026年已明显好转，出现涨价趋势。

预计2028年中国大陆Gas Box市场接近200亿人民币，需求由干法设备扩产、国产设备份额提升、气路模组外包率提高共同驱动。

🔹 真空泵：

每台设备需要2—3个真空泵，包括主泵分子泵、罗茨泵和附属泵；

海外品牌以爱德华、普发、荏原机械为主，国内厂商包括中科仪、京仪装备、沈科仪和杭州核磁；

磁悬浮泵目前使用较少，分子泵和罗茨泵等使用更多。

🔹 管路阀门：

气体管路阀门类占设备金额约10%—12%；

国内厂商包括新莱应材、聚克流体、中科科尔、飞托科；

中科科尔覆盖减压阀、隔膜阀、EP管并对标斯维洛克，聚克流体做block集成气路模组，新莱应材更多做真空阀并替代VAT。

🔹 金属结构件：

富创精密、托伦斯、靖江先锋供应腔体结构件、均气盘、基座和腔体内衬；

富创精密精度较优，托伦斯与中微存在捆绑关系，成熟设备腔体较大部分由托伦斯供应。

🔹 陶瓷件与静电卡盘：

苏州珂玛、臻宝科技、卡贝尼为国内陶瓷件厂商；

苏州珂玛曾是应用材料氧化铝供应商，上市后拓展heater、加热盘和静电卡盘，并为中微配套。

静电卡盘按设备单一研发、互不兼容，目前行业供不应求、良率不高，国内能做12寸相关产品的厂商不多。

🔹 MFC气体流量计：

MFC供给紧俏、国内厂商较少，市场规模不大；

先进制程单颗价格约1.5万元，成熟制程一个腔约8颗、五个腔约40颗，先进制程一个腔约12—14颗、五个腔约60颗；

先进制程多用压差式，成熟制程多用热式式，压差式价格比热式高两倍不止。

高凯技术订单7/8月0.7/2.5亿，9/10月3.5-4亿元/月，考虑海外龙头交付紧张及公司新客户拓展，公司接单可年化至50亿元。

四、先进制程零部件交期最长，射频电源、静电卡盘、真空泵是量产瓶颈

🔹 瓶颈品类：射频电源、真空泵等产品海外交期很长，若设备要直接量产必须突破国产化并自主研发；例如订购10个海外产品可能两年只交4个，无法满足量产要求。

🔹 竞争追赶：英杰、恒运昌与国内设备厂商配套开发较深，吉兆源、纳微半导体等未上市射频电源厂商也在追赶。

🔹 先进制程缺货结构：短板并非某一大品类，而是先进制程规格零部件整体欠缺；静电卡盘、真空泵、射频电源、蝶阀、真空阀、薄膜阀、隔膜阀和MFC等并非完全买不到，但会制约设备量产节奏。

五、海外供给刚性推升零部件价格，设备厂备货周期拉长

🔹 2026年两轮涨价均与外部限制和海外供给有关：

🔹 涨价时点：从2026年一季度开始，随着关税上涨，国内零部件涨价一波；2026年4—5月美国"马西法案"出台后，国内零部件再涨一波。

🔹 供给原因：海外零部件供应商不会因短期需求翻倍而大规模扩产，只小幅扩产，导致货期拉长，客户加价购买，形成价格上涨、交货变慢并存的状态。

🔹 库存放大需求：国内设备厂此前通常储备1—1.5年零部件用量，后续提升至1.5—2年；在设备本身数量增长的同时，备货增加进一步推高价格并拉长交期。